본문
■ 본체 베이스 설계
· 구상흑연주철(다크 타일 주철)을 사용한 밀폐화 구조를 채택하여 고강성·고감쇠성 실현
· 강성 및 열적 안정성 향상을 위해 Y축 가이드레일과 본체 베이스를 일체화된 구조로 제작
· 각 축 슬라이드 부분을 세라믹 플라즈마 용사 처리하여 에어 베어링 접동을 위한 최적의 표면 형성
· 제진 성능 향상으로 고감쇠성 초고정도 스캐닝 측정 실현
■ 높은 운동 정도
· X축과 Y축이 완전히 독립된 구조로 서로 영향을 끼치지 않아 각 축의 정도를 확립하기 쉽고 고정도를 장기간에 걸쳐 유지 가능
· 각 축의 구동계를 각 이동부의 중심에 배치하여 구동축 회전의 관성 모멘트가 억제되므로 속도 가감시 구조체 변형 없음
■ 문 고정 · 테이블 이동 구조
· 피칭 오차와 요잉 오차를 최소한으로 줄이기 위해 문 고정· 테이블 이동 구조를 채용
■ 진동 대책
· 전용 고기능 오토 레벨링 공기압식 제진장치를 표준으로 장착하여
측정 테이블의 이동이나 측정물에 의한 하중 변동을 센서로 파악 후 빠른 수평 복귀 가능
· 너트부에 플로팅 기구를 가진 특수 볼 스크류를 채용하여 고속 구동 가능
· 미쓰도요 독자의 고강성 저진동 에어 베어링과 각 축 가이드 레일에 특수한 진동 감쇄기구 장착
■ 초고정도 측장 유닛
· 선팽창계수의 열팽창이 거의 없는 초고정도 결정화 글래스 스케일과
최소 분해능 1/100m의 고성능 반사형 리니어 엔코더가 결합된 초고정도 측장 유닛 탑재
· 글래스 스케일은 독자적인 고정 방식에 의해 부착면과 선팽창계수의 차이에서 발생하는 히스테리시스 오차를 최소한으로 억제
초고정도 CNC 3차원 측정기
LEGEX
· X최대(mm) : ~900 / Y최대(mm) : ~1000 / Z최대(mm) : ~600
· 최고정도(㎛) : 0.28+L/1000~
· 정도보증온도(℃) : 19~21
■ 관련영상
관련링크
- 이전글초대형 CNC 3차원 측정기 CARB 시리즈 23.01.23
- 다음글3차원 측정기 SpinArm-Apex 23.01.23
