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■ CV-2100M4
· Z1축(검출부)에 고정도 원호 스케일 탑재
· 스타일러스 끝의 원호 궤도를 직접 읽음으로써 검출기구로 인한 오차 감소
· 고정도·고분해능 실현
· 구동최대(mm) : ~100
· 검출범위(㎛) : 50
· 컬럼최대(mm) : ~350
· 검출범위(㎛) : 50
· 컬럼최대(mm) : ~350
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