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CS-5000CNC는 복수 부위 및 단면의 자동 측정이 가능한 고정도 스타일러스 타입 CNC 표면 성상 측정기입니다.
X1축을 전동 경사로 수평면, 경사면의 연속 측정이 가능하며 Y축 테이블 타입은 복수 측정물의 측정 등 Y방향 위치 결정에 의해 측정 영역이 확대됩니다.
· 구동최대(mm) : ~200
· 컬럼최대(mm) : ~500
■ CS-5000CNC
· 표면 조도와 윤곽 형상을 일괄 측정할 수 있는 고정도 촉침식 CNC 표면 성상 측정기
· X1축의 최대 구동 속도는 최대 40mm/s, (Y), Z2축의 최대 구동 속도는 최대 200mm/s
· 고속 위치 결정이 가능하며 복수 단면 측정이나 복수 측정물 측정의 높은 처리량을 실현
· X1, Z1축에 투과형 리니어 인코더 탑재
· X1축에 5nm, Z1축에 0.8nm/1.6nm의 고분해능 실현
· Z1축 검출기에 액티브 제어 방식을 채용해 동적 측정력의 변동을 억제한 광범위한 측정 가능
· X·Y축 방향 2축 동시 제어에 의한 경사 측정 가능
· Z1축 검출기에 충돌 안전 장치가 내장되어, 검출기 본체가 측정물이나 지그에 간섭했을 때 자동 정지
· X1축을 전동 경사로 수평면, 경사면의 연속 측정이 가능
· Y축 테이블 타입은 복수 측정물의 측정 등 Y방향 위치 결정에 의해 측정 영역 확대
· 고정도가 요구되는 비구면 렌즈의 측정도 가능
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